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通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產品表面，以達到清洗目的。
控溫控壓，PLC全自動控制。
一鍵啟動，抽真空，充氣，加熱，控溫控壓，射頻電源開啟。
真空度可以達到1×10-1 Pa
加熱溫度≤200 ℃
溫度誤差±3℃
