擴散泵/真空備品配件
鉬帶加熱,前裝料,PLC全自動控制。
主要用于石英材料的高溫脫羥。
極限真空度 9.0×10-5Pa
工作真空度 5.0×10 -4Pa
允許使用的溫度范圍:
最高溫度1350 ℃